מה הם הפונקציה של LTPS?
מחטא פלזמה בטמפרטורה נמוכה.
1.הפונקציה העיקרית היא להגן על התקני חום ולחות ביעילות
2.To לקצר את מחזור העיקור רק 32-45 דקות.
3.To להבטיח פריקת פסולת מינימלית של חומרים לא רעילים (מים וחמצן).
4.To מספקים תוצאות מודפסות בסוף כל תהליך של 4 מחזורים לצוות לבדוק בקושי מועט.
איך ZeroMe עובד?
פלזמה מי חמצן בקול רם נוצר על ידי שדות אלקטרו מגנטיים חזקים.תהליך העיקור יש שני שלבים, דיפוזיה ופלזמה. דיפוזיה: מחפירים לא סטרליים ממוקמים בתא ואקום. אדי מי חמצן מוזרקים ונשארים להזרים בכל התא לזמנים מסוימים. פלזמה: תדרים ספציפיים מוחדרים לתוך התא comververting אדים לפלסמה.
